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マスフローコントローラー(MFC) FC-771AC

Aera 管理番号 Z21080226
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細

機器名マスフローコントローラー(MFC)
ガス種H2
流量(フルスケール)20 SLM
外形寸法W130 D30 H127 mm
メーカーAera
型式FC-771AC
仕様ガスH2 流量20SLM

W130 D30 H127
数量1
カテゴリー真空コンポーネント
管理番号Z21080226
掲載日2026-08-19
最終取得日2026-10-10

参考仕様(型式一般)

メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。

フルスケールレンジ(N2換算)6〜50SLM
バルブ常閉(NC)
校正ガスH2
標準継ぎ手(シリーズ)1/4"VCR または 1/4"Swagelok
動作差圧69〜275 kPa(d)
応答性2秒以内(フルスケールの±2%まで)
精度フルスケールの±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下)
直線性フルスケールの±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下)
繰り返し性フルスケールの±0.2%以下
外部リークレート1×10⁻⁷以下(He) Pa·m³/sec
流量制御範囲2〜100 %F.S.
最大動作圧力490 kPa(g)
耐圧力981 kPa(g)
使用可能周囲温度5〜45 ℃

出典: メーカー資料

ご購入の流れ

  1. お問い合わせフォームからご希望(数量・納期・動作確認の要否など)をお知らせください
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商品ID: 7838

¥30,000
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