マスフローコントローラー(MFC) FC-770A
Aera 管理番号 Z21080214
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー(MFC) |
|---|---|
| ガス種 | N2 |
| 流量(フルスケール) | 1 SLM |
| 外形寸法 | W125 D34 H170 mm |
| メーカー | Aera |
| 型式 | FC-770A |
| 仕様 | ガスN2流量1SLM W125xD34xH170 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z21080214 |
| 掲載日 | 2026-08-19 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様(型式一般)
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
|---|---|
| バルブ | 常開(NO) |
| 校正ガス | N2 |
| 標準継ぎ手(シリーズ) | 1/4"VCR または 1/4"Swagelok |
| 動作差圧 | 49〜275 kPa(d) |
| 応答性 | 2秒以内(フルスケールの±2%まで) |
| 精度 | フルスケールの±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性 | フルスケールの±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性 | フルスケールの±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻⁷以下(He) Pa·m³/sec |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 最大動作圧力 | 490 kPa(g) |
| 耐圧力 | 981 kPa(g) |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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