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マスフローコントローラー(MFC) FC-780

Tylan 管理番号 Z230331091
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細

機器名マスフローコントローラー(MFC)
ガス種NH3
流量(フルスケール)1 SLM
メーカーTylan
型式FC-780
仕様ガス:NH3 流量:1SLM
数量1
カテゴリー真空コンポーネント
管理番号Z230331091
商品NO15777(旧サイトの番号)
掲載日2023-04-10
最終取得日2026-10-10

参考仕様(型式一般)

メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。

現品ラベルの型式FC-780(AERA/Tylan)
校正ガスNH3(アンモニア)
フルスケールレンジ(N2換算)10SCCM〜5SLM
バルブ形式ノーマリオープン(型番末尾にCが付かない)
外部シール材Metal(メタル)
応答性(フルスケールの±2%まで)1秒以内
精度(フルスケール)±1%以下
直線性(フルスケール)±0.5%以下
繰り返し性(フルスケール)±0.2%以下
外部リークレート1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉
流量制御範囲(フルスケール)2〜100%
動作差圧0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉
最大動作圧力5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉
使用可能周囲温度5〜45 ℃

出典: ircforall.net、メーカー資料

ご購入の流れ

  1. お問い合わせフォームからご希望(数量・納期・動作確認の要否など)をお知らせください
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  3. ご注文条件にご納得いただけたら掲載会社へご注文。取り置きのご相談も可能です
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商品ID: 764

¥30,000
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