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マスフローコントローラー（MFC） SEC-410
堀場エステック Stec 管理番号 Z230331063
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー（MFC） |
|---|---|
| ガス種 | SiH4 |
| 濃度 | 20 % |
| 希釈ガス | Ar |
| 流量(フルスケール) | 1 LM |
| メーカー | 堀場エステック Stec |
| 型式 | SEC-410 |
| 仕様 | ガス:20%SiH4/Ar 流量:1LM |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z230331063 |
| 商品NO | 15749（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2023-04-10 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 現品銘板の型式 | SEC-410(STEC INC.) |
|---|---|
| 校正ガス | O2(酸素) |
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.99(N2基準) |
| 制御方式 | 熱式質量流量センサ + 制御バルブ |
出典: ircforall.net
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商品ID: 739
¥30,000
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