マスフローコントローラー(MFC) SEC-F440M
堀場エステック Stec 管理番号 Z230331053
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー(MFC) |
|---|---|
| ガス種 | B2H6 |
| 濃度 | 2 % |
| 希釈ガス | N2 |
| 流量(フルスケール) | 1 LM |
| メーカー | 堀場エステック Stec |
| 型式 | SEC-F440M |
| 仕様 | ガス:2%B2H6/N2 流量:1LM |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z230331053 |
| 商品NO | 15739(旧サイトの番号) |
| 掲載日 | 2023-04-10 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様(型式一般)
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 現品銘板の型式 | SEC-F440M A1(STEC) |
|---|---|
| 校正ガス | 2%B2H6/N2(ジボラン2%の窒素希釈) |
| 窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.) | 0.979(N2基準) |
| バルブ型式 | C(ノーマリクローズ、銘板の VALVE 欄) |
| 外部接続 | 15ピン D-subコネクタ |
| 本体機能 | ALARM LED、AUTO ZERO SW(自動ゼロ点調整スイッチ) |
| 接ガス部材質 | SUS-316L(Mタイプ) |
| 流量制御範囲 | 2〜100%F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1%F.S. |
| 直線性 | ±0.5%F.S. |
| 繰返性 | ±0.2%F.S. |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹¹Pa·m³/s(He)以下(Mタイプ) |
| 耐圧 | 1000 kPa |
出典: ircforall.net、メーカー資料
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