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マスフローコントローラー(MFC) SEC-F440M

堀場エステック Stec 管理番号 Z230331053
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細

機器名マスフローコントローラー(MFC)
ガス種B2H6
濃度2 %
希釈ガスN2
流量(フルスケール)1 LM
メーカー堀場エステック Stec
型式SEC-F440M
仕様ガス:2%B2H6/N2 流量:1LM
数量1
カテゴリー真空コンポーネント
管理番号Z230331053
商品NO15739(旧サイトの番号)
掲載日2023-04-10
最終取得日2026-10-10

参考仕様(型式一般)

メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。

現品銘板の型式SEC-F440M A1(STEC)
校正ガス2%B2H6/N2(ジボラン2%の窒素希釈)
窒素換算コンバージョンファクタ(C.F.)0.979(N2基準)
バルブ型式C(ノーマリクローズ、銘板の VALVE 欄)
外部接続15ピン D-subコネクタ
本体機能ALARM LED、AUTO ZERO SW(自動ゼロ点調整スイッチ)
接ガス部材質SUS-316L(Mタイプ)
流量制御範囲2〜100%F.S.
応答速度1秒以内(T98)
流量精度±1%F.S.
直線性±0.5%F.S.
繰返性±0.2%F.S.
外部リークレート1×10⁻¹¹Pa·m³/s(He)以下(Mタイプ)
耐圧1000 kPa

出典: ircforall.net、メーカー資料

ご購入の流れ

  1. お問い合わせフォームからご希望(数量・納期・動作確認の要否など)をお知らせください
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  3. ご注文条件にご納得いただけたら掲載会社へご注文。取り置きのご相談も可能です
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商品ID: 731

¥30,000
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