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マスフローメーター SEF-410-UC

堀場エステック Stec 管理番号 Z230331034
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細

機器名マスフローメーター
ガス種SiH4
流量(フルスケール)500 SCCM
メーカー堀場エステック Stec
型式SEF-410-UC
仕様ガス:SiH4 流量:500SCCM
数量1
カテゴリー真空コンポーネント
管理番号Z230331034
商品NO15718(旧サイトの番号)
掲載日2023-04-05
最終取得日2026-10-10

参考仕様(型式一般)

メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。

標準流量レンジ(N2換算フルスケール)10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM、1/2/3/5 SLM
精度±1 %F.S.
直線性±0.5 %F.S.
繰返性±0.2 %F.S.
応答速度(T98)6以内 s
最大動作圧力300 kPa(G)
耐圧1 MPa(G)
外部リークレート(He)1×10^-8 以下 Pa·m3/s
使用周囲温度5〜50(精度保証15〜35) ℃
流量出力信号0〜5(最小負荷抵抗2kΩ) VDC
駆動電源+15VDC±5% 60mA、−15VDC±5% 150mA
接ガス部材質SUS316、バイトン
標準継手1/4スウェージロックタイプ

出典: horiba.com

ご購入の流れ

  1. お問い合わせフォームからご希望(数量・納期・動作確認の要否など)をお知らせください
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商品ID: 724

¥30,000
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