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マスフローメーター FM-860

Tylan 管理番号 Z21080360
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細

機器名マスフローメーター
ガス種SiH2Cl2
流量(フルスケール)100 SCCM
外形寸法W155 D33 H175 mm
メーカーTylan
型式FM-860
仕様ガスSiH2Cl2 流量100SCCM

W155 D33 H175
数量1
カテゴリー真空コンポーネント
管理番号Z21080360
商品NO13761(旧サイトの番号)
掲載日2021-08-17
最終取得日2026-10-10

参考仕様(型式一般)

メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。

機器種別マスフローメーター(流量計測のみ・制御バルブなし)
電源+15 / -15 VDC
流量出力(電圧)0〜5 VDC
流量出力(電流)0〜2.5 mA
コネクタカードエッジコネクタ(10極)
対応リードアウトユニットRO-120(カードエッジコネクタ用ケーブル使用)
フルスケール流量(現品)100 sccm
校正ガス(現品)SiH2Cl2
外形寸法(現品・掲載値)W155×D33×H175 mm

ご購入の流れ

  1. お問い合わせフォームからご希望(数量・納期・動作確認の要否など)をお知らせください
  2. 掲載会社から回答通常数日以内に、在庫・状態(動作確認の結果)・送料込みのお見積りをメールでご案内します
  3. ご注文条件にご納得いただけたら掲載会社へご注文。取り置きのご相談も可能です
  4. お支払い・出荷多くは前金(出荷前振込)。大学・公的機関は掛け売りに対応できる場合があります

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商品ID: 487

¥30,000
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