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マスフローコントローラー（MFC） M100B02852CS1BV
MKS 管理番号 Z220822020
¥40,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー（MFC） |
|---|---|
| ガス種 | CH4 |
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| メーカー | MKS |
| 型式 | M100B02852CS1BV |
| 仕様 | ガス：CH4 流量：500SCCM |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z220822020 |
| 商品NO | 15194（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2022-08-26 |
| 最終取得日 | 2026-10-14 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 現品の型式表示 | M100B02852CS1BV |
|---|---|
| 校正ガス | CH4(メタン) |
| 確度 | ±1%F.S.(5000sccm以下) |
| 制御範囲 | フルスケールの2.0〜100% |
| 繰返し性 | ±0.2%F.S. |
| 整定時間 | 2秒未満(設定値の±2%以内まで) |
| 最大入口圧力 | 150 psig |
| 動作差圧 | 10〜40psid(5000sccm以下) |
| 暖機時間 | 15 分 |
| 電源 | ±15VDC(±10%) 起動時最大200mA／定常100mA |
| 出力信号 | 0〜5VDC(10kΩ超の負荷) |
| 設定入力 | 0〜5VDC(20kΩ未満から) |
| コネクタ | 15ピン D-sub |
| 継手 | Swagelok 4-VCR(オス)／4-VCO(オス)／1/4インチ Swagelok／1/8インチ Swagelok から選択 |
出典: ircforall.net、nanophys.kth.se
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商品ID: 652
¥40,000
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