マスフローコントローラー(MFC) SEC-400MK3-UL
堀場エステック Stec 管理番号 Z21080377
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー(MFC) |
|---|---|
| ガス種 | H2 |
| 流量(フルスケール) | 1 SLM |
| メーカー | 堀場エステック Stec |
| 型式 | SEC-400MK3-UL |
| 仕様 | 流量:1SLM ガス:H2 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z21080377 |
| 商品NO | 18472(旧サイトの番号) |
| 掲載日 | 2025-08-06 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様(型式一般)
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 現品銘板の型式 | SEC-400MK3-UL(STEC INC. MADE IN JAPAN) |
|---|---|
| 校正ガス | H2(水素、直接校正) |
| コンバージョンファクタ(C.F.) | 1.00(H2基準) |
| 流量制御範囲 | 2〜100%F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±2%以内(MARK3の場合) |
| 直線性 | ±1%以内(MARK3の場合) |
| 繰返性 | ±0.2%F.S. |
| 耐圧 | 1000 kPa |
| 使用可能周囲温度 | 5〜50℃(精度保証15〜35℃) |
| 流量設定信号 | 0.1〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) |
| 流量出力信号 | 0〜5VDC(最小負荷抵抗2kΩ) |
| 駆動電源 | +15V±5%DC 60mA/-15V±5%DC 60mA |
出典: ircforall.net、メーカー資料
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