写真をクリックすると拡大します
マスフローコントローラー（MFC） FC-780C
Tylan 管理番号 Z21080348
¥30,000 (税別・送料別)
この商品について問い合わせる ›
在庫・状態・送料の確認とお見積りをメールで回答します。お電話でのご案内は行っておりません。
- 商品は掲載会社から直接ご購入いただきます。当サイトへのお支払いはありません
- 掲載価格は税別。梱包・送料は別途お見積り(全国発送、大型品は混載便)
- お引渡し条件・保証・支払方法は掲載会社と機械により異なります(多くは現状有姿・前金)。動作確認の結果や既知の不具合はお問い合わせ時にご案内します
仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー（MFC） |
|---|---|
| ガス種 | SiH2Cl2 |
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
| 外形寸法 | W125 D33 H150 mm |
| メーカー | Tylan |
| 型式 | FC-780C |
| 仕様 | ガスSiH2Cl2 流量100SCCM W125 D33 H150 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z21080348 |
| 商品NO | 13792（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2021-08-17 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| コネクタ接続 | CASE GND／COMMON／OUTPUT 0〜5VDC／+15VDC／(OUTPUT 0〜2.5mA)／VALVE TEST PT.／CONTROL 0〜5VDC／COMMON(VALVE RTN.)／VALVE OPEN・CLOSE／-15VDC／(ALARM OUT H・L)／(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
- お問い合わせフォームからご希望(数量・納期・動作確認の要否など)をお知らせください
- 掲載会社から回答通常数日以内に、在庫・状態(動作確認の結果)・送料込みのお見積りをメールでご案内します
- ご注文条件にご納得いただけたら掲載会社へご注文。取り置きのご相談も可能です
- お支払い・出荷多くは前金(出荷前振込)。大学・公的機関は掛け売りに対応できる場合があります
詳しくは ご利用ガイド をご覧ください。
関連する商品
マスフローコントローラー（MFC）をすべて見る
商品ID: 475
¥30,000
問い合わせる