マスフローコントローラー(MFC) FC-780C
Tylan 管理番号 Z21080346
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー(MFC) |
|---|---|
| ガス種 | NH3 |
| 流量(フルスケール) | 500 SCCM |
| 外形寸法 | W125 D33 H150 mm |
| メーカー | Tylan |
| 型式 | FC-780C |
| 仕様 | ガスNH3 流量500SCCM W125 D33 H150 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z21080346 |
| 商品NO | 13748(旧サイトの番号) |
| 掲載日 | 2021-08-17 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様(型式一般)
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| コネクタ接続 | CASE GND/COMMON/OUTPUT 0〜5VDC/+15VDC/(OUTPUT 0〜2.5mA)/VALVE TEST PT./CONTROL 0〜5VDC/COMMON(VALVE RTN.)/VALVE OPEN・CLOSE/-15VDC/(ALARM OUT H・L)/(ALARM OFF) |
|---|---|
| フルスケールレンジ(N2換算) | 10SCCM〜5SLM |
| バルブ形式 | ノーマリクローズ |
| 外部シール材 | Metal(メタル) |
| 応答性(フルスケールの±2%まで) | 1秒以内 |
| 精度(フルスケール) | ±1%以下(20SLM超〜50SLMは±2%以下) |
| 直線性(フルスケール) | ±0.5%以下(20SLM超〜50SLMは±1%以下) |
| 繰り返し性(フルスケール) | ±0.2%以下 |
| 外部リークレート | 1×10⁻¹⁰atm·cc/sec(He)以下〈1×10⁻¹¹Pa·m³/sec(He)以下〉 |
| 流量制御範囲(フルスケール) | 2〜100% |
| 動作差圧 | 0.3〜3.0kgf/cm²(d)〈29〜294kPa(d)〉 |
| 最大動作圧力 | 5kgf/cm²(g)〈490kPa(g)〉 |
| 耐圧力 | 10kgf/cm²(g)〈981kPa(g)〉 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜45 ℃ |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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