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マスフローコントローラー（MFC） SEC7330M
堀場エステック Stec 管理番号 Z19091392
¥80,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー（MFC） |
|---|---|
| ガス種 | O2 |
| ガス種 | Ar |
| メーカー | 堀場エステック Stec |
| 型式 | SEC7330M |
| 仕様 | O2 500sccm、Ar 100sccm バルブユニット |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z19091392 |
| 商品NO | 10760（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2019-09-22 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 制御弁 | ピエゾアクチュエータ式 |
|---|---|
| 標準フルスケール範囲(N2換算) | 5 SCCM〜2 SLM |
| 流量制御範囲 | 2〜100 %F.S. |
| 応答速度 | 1秒未満(T98) |
| 精度 | ±1 %F.S. |
| 直線性 | ±0.5 %F.S. |
| 繰返し性 | ±0.2 %F.S. |
| 作動差圧 | 50〜300 kPa(d) |
| 最高使用圧力 | 300 kPa(G) |
| 耐圧 | 1 MPa(G) |
| リーク量(メタルシール) | 5×10^-12 Pa·m3/s(He) |
| 使用温度範囲 | 5〜50 ℃ |
| 流量設定・出力信号 | 設定0.1〜5 / 出力0〜5 VDC |
| 電源 | ±15 ±5%、各60mA VDC |
| 継手 | 1/4 VCR |
出典: メーカー資料
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商品ID: 274
¥80,000
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