マスフローコントローラー(MFC) CMQ0050CSSH0100D0
アズビル 管理番号 Z19091365
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー(MFC) |
|---|---|
| ガス種 | H2 |
| 流量(フルスケール) | 50 L/min |
| メーカー | アズビル |
| 型式 | CMQ0050CSSH0100D0 |
| 仕様 | H2、50L/min |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z19091365 |
| 商品NO | 10691(旧サイトの番号) |
| 掲載日 | 2019-09-17 |
| 最終取得日 | 2026-10-12 |
参考仕様(型式一般)
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 現品ラベルの形番 | MQV0050CSSH010100 |
|---|---|
| 校正ガス | H2(水素)/He(ヘリウム) |
| 最大差圧 | 0.3 MPa |
| 処理 | 禁油処理(H2 Oil free) |
| バルブ方式 | 比例ソレノイドバルブ |
| バルブ動作 | 非通電時-閉(N.C.) |
| 制御範囲 | 1〜100%FS |
| 精度 | ±1%FS(50%FS<Q≦100%FS)、±0.5%FS(0%FS≦Q≦50%FS) |
| 外部接続 | 20ピンコネクタ(FLOW OUT / FLOW SP INPUT / MODE INPUT / DI1〜3 / EV1・EV2 OUT / ALM OUT / RS-485 DA・DB / +5V 5mA max) |
| 電源 | DC24V |
出典: ircforall.net、メーカー資料
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