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マスフローコントローラー（MFC） 649A-27650
MKS 管理番号 Z181219018
¥50,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー（MFC） |
|---|---|
| ガス種 | He |
| 流量(フルスケール) | 10 SCCM |
| メーカー | MKS |
| 型式 | 649A-27650 |
| 仕様 | 配管ユニット1式、He＊10SCCM |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z181219018 |
| 商品NO | 13374（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2021-04-12 |
| 最終取得日 | 2026-10-12 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 現品のフルスケール流量 | 10sccm(ガス: He) |
|---|---|
| 現品のフルスケール圧力 | 2.666 kPa |
| 圧力トランスデューサ | 絶対圧キャパシタンスマノメータ |
| 精度(圧力トランスデューサ) | 読みの±0.5% |
| 精度(圧力コントローラ) | フルスケールの±0.1%以下 |
| 精度(マスフローメータ) | フルスケールの±1.0% |
| 制御再現性 | フルスケールの±0.2% |
| 圧力制御レンジ | フルスケールの5〜100% |
| 最大運転差圧 | 1 MPa |
| 暖機時間 | 5 分 |
| 入力電源 | ±15VDC±5%(起動時最大250mA、定常200mA) |
| 出力信号 | 流量 0〜5VDC / 圧力 0〜10VDC(0〜5VDC選択可) |
| 継手 | 4-VCR(雄)、8-VCR(雄) |
| バルブ | ノーマルクローズ(通常閉型)、シート材 Metal Kel-F・Viton・Kalrez |
| 接ガス部材質 | 316L VIM/VARステンレス鋼、Inconel、ニッケル、Elgiloy |
出典: ircforall.net、メーカー資料
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商品ID: 231
¥50,000
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