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マスフローコントローラー（MFC） SEC-4400RC
堀場エステック Stec 管理番号 Z26021432
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー（MFC） |
|---|---|
| ガス種 | Ar |
| 流量(フルスケール) | 100 SCCM |
| メーカー | 堀場エステック Stec |
| 型式 | SEC-4400RC |
| 仕様 | ガス：Ar 流量：100SCCM |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z26021432 |
| 商品NO | 18980（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2026-02-18 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 継手 | 1/4VCR |
|---|---|
| 標準流量レンジ(N2換算F.S.) | 5SCCM〜5SLM |
| 流量制御範囲 | 2〜100% F.S. |
| 応答速度 | 1秒以内(T98) |
| 流量精度 | ±1% F.S.(MARK3の場合は±2%以内) |
| 直線性 | ±0.5% F.S.(MARK3の場合は±1%以内) |
| 繰返性 | ±0.2% F.S. |
| 動作差圧 | 50〜300 kPa(d) |
| 耐圧 | 1,000 kPa |
| 接ガス部材質 | Rタイプ: SUS-316L + バイトン® |
| バルブ型式 | RC = 非通電時閉(ノーマルクローズ) |
| 外部リークレート | Rタイプ: 1×10⁻⁸Pa·m³/s(He)以下 |
| 使用可能周囲温度 | 5〜50(精度保証 15〜35) ℃ |
| 使用可能周囲湿度 | 85%RH以下 |
| 流量設定信号 / 流量出力信号 | 0〜5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上) / 0〜5VDC(最小負荷抵抗2kΩ) |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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商品ID: 1210
¥30,000
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