ウェット処理装置
ギガテック AMD3690
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スピンリンサードライヤー
コクサン Kokusan SPD180-RN
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タッチパネルモニター
キーエンス Keyence VT3-V10
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ステップモータードライバー
VEXTA UDX5128
カテゴリー:電気部品
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ドライエッチング装置
アルバック Ulvac NE-550EX
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電源ユニット
コーセル COSEL PBA300F-24
カテゴリー:電気部品
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モータードライバー
NAVITAR 1-62420
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高真空アングルバルブ
SMC XLS-25
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マッチングコントローラー
アステック ASTECH RC-12-04
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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PLC モジュール
オムロン Omron CS1W-NC433
カテゴリー:電気部品
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バラトロン真空計
ブルックス CMX45
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真空計
インフィコン Inficon CDG025D
カテゴリー:電気部品
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温度コントローラー
アズビル SDC15
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ベースユニット
オムロン Omron CS1W-BC053
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エッチング装置
パナソニック Panasonic E650I
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電力調整器
三社電機製作所 SPU-2020
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チラー
西川計測 AOW-K3-T3-JO-01
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CPU モジュール
オムロン Omron CVM1-CPU21-V2
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プラズマリアクター
ヤマト科学 Yamato PR510
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スクロール型ドライ真空ポンプ
アルバック Ulvac ISP-500C
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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5相ステッピングモーター
オリエンタルモーター PH566-A
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スピードコントローラー
オリエンタルモーター DSP50M
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コネクタターミナル
オムロン Omron DRT2-OD16MLX
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ACサーボアンプ
オリエンタルモーター SG9200-2G
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