排気配管ユニット
アプライド・マテリアルズ 0040-04571
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残余気体分析計
インフィコン Inficon MP-H10P
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アナログ基板
バリアン真空 E15002460
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ACサーボドライバー
パナソニック Panasonic MQDB011AAD01
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エアオペレーションバルブ
Ckd AMD512-8BJ-CSC
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左出力マニホールド
アプライド・マテリアルズ 0040-3490
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マニホールドアセンブリ
アプライド・マテリアルズ 4060-00013
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6軸振動計アンプ
ニコン Nikon 4S587-513(KT0009000)
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2方向エア式バルブ
サンゴバン JV2-71212NC-B (1107530)
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減圧弁
SMC AP1206S
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水銀灯安定器
東芝 Toshiba 2.5HC-2027HW-B
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XYステージ
日本精工 XY-HRS025ZRS202
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フォトレジストポンプ
ミリポア Millipore RGEN-01
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エア式ダイヤフラムバルブB型
積水化学工業 B型15AType2030
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ACサーボアンプ
三菱電機 Mitsubishi MR-J4-20A-T035
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ターボ分子ポンプ/ポンプコントローラ
Pfeiffer Vacuum TMH261YPX / TC750
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自動弁
旭有機材 ADAIGUEF1015
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高電圧パルスモジュール
アプライド・マテリアルズ E19285070
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DC電源
アメテック P31A-1507CB
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クイックコネクター
サーパス工業 QCH-WA-6S-20AFL
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マスフロ―コントローラ
堀場エステック Stec SEC-Z514MGX
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薬液用バルブ
Ckd AMD452-20BUP-02EYXS
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ステッピングモーター
オリエンタルモーター ASM66AC-N10
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コントローラ
EUROTHERM MINI8/8LP/0PRG/VL/DEVICENET/C/TC8/XXX/XXX/DO8/STD/60
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