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冷却水循環装置
東京理化器械製（EYELA） CAE-2000S
循環方式：密閉系向循環（インバー…
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ヘリウムリークディテクター
島津製作所 Shimadzu MSE-3200R
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ヘリウムリークディテクター
ANELVAアネルバ（ALCATELアルカテル） ASM110 TURBO CL
検出感度：2×10-11～1×10-5atm・cm3…
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ゲートバルブ
VAT F14-58802-01（ICF114）
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アングルバルブ
VAT 26328-KA01（NW25）
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ゲートバルブ
HVA
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アングルバルブ
アルバック Ulvac VULH40（ICF40）
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高周波発振器
モリエンジニアリング SFA300EX
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ウェハーシートリング加工機
SMHP機工 D-668
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ディスペンサーロボット
武蔵エンジニアリング Musashi SHOTMASTER 300DSs
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ディスペンサーロボット
武蔵エンジニアリング Musashi SHOTmini 200DS
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超音波洗浄機
ブランソン Branson 5510J-MT
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超純水製造装置
メルクミリポア Mill-Q Integral 5
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安全キャビネット
日立 Hitachi SCV-1306ECⅡAB
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シェイカー
サーマル化学産業 DS-501
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レーザー顕微鏡
キーエンス Keyence VK-8510
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ロータリーポンプ
アルバック Ulvac GLD-136A
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安定性試験機
エスペック Espec CRH-220
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低温恒温槽
タバイエスペック Tabai espec MC-710T
温度範囲：-75℃～+100℃
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恒温恒湿槽
エタック(楠本化成) TH411A
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恒温恒湿槽
エスペック Espec PSL-2FP
温度範囲：-70℃～+100℃ 湿度範囲：2…
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恒温恒湿槽
エスペック Espec PSL-2KPH
温度範囲：-70℃～+150℃ 湿度範囲：2…
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恒温槽
ナガノサイエンス CH43-15P
温度範囲：-25℃～+80℃
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安全キャビネット
日立 Hitachi SCV-1908ECⅡA2
滅菌処理済み
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