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遠心エバポレーター
アズワン As one CVE-2AS
回転数：1400/1700rpm 温度調節範囲…
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ウェハーマウンター
日東電工 M286N
適用フレームサイズ：8インチ／6イ…
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スパッタ装置
アネルバ ANELVA L-250S-FH
DCスパッタ RFスパッタ EBスパッタ …
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スクロールポンプ
アネスト岩田 ISP-500B
排気速度：500/600(L/min) 到達真空…
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マイクロ波発振器／電源
IDX（旧アドテック） IMG-2502B
出力：1.5kW
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ヒュームフード
ヤマト科学 Yamato MF-90S-C
寸法：W900×H990×D500(mm)
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真空排気装置
アルバック Ulvac VPC-050
到達圧力：7.0×10-4 Pa 排気速度：5…
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スクリュウーコンプレッサー
コベルコ技研 AS2PD-5
吐出圧力：0.69～0.83MPa 吐出空気…
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クリーンベンチ
日本エアーテック Airtech KTV-840KS
化学分野、半導体、液晶、電子部品…
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ドライポンプ
BOC EDWARDS エドワーズ QDP40
型式：QDP40 到達圧力：5Pa
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連続式リフロー炉
グローバル AFD-101A
常用温度：250℃迄
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電気マッフル炉
島津製作所 Shimadzu MP-15
最高温度：1100℃
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マッチングコントローラー
アステック ASTECH RC-11
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ターボ分子ポンプ
エドワーズ Edwards STP-300
排気速度：300 L/s 到達圧力：1×10⁻…
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検査用光源ユニット
ウシオ電機 品名：Optical Modulex SX-UI501MQQ／BA-M500
型式：SX-UI501MQQ／BA-M500 ランプ…
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真空オーブン
ヤマト科学 Yamato ADP200
設定温度範囲：+40℃～240℃
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プログラムフリーザー
FHK（富士平工業） ET-1N
設定温度範囲：-40℃～30℃
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コーティング装置
SONO-TEK DES3000
作業領域：70mm(2.75インチ)
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RF電源
アドバンスエナジー AE RFX-600A
最大出力：600W 周波数：13.56MHz
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オートファインコーター
日本電子 Jeol JFC-1600
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ターボ分子ポンプ
LEYBOLD（ライボルト）本体 TURBOVAC 361
コントローラー 型式：TURBOTRONIK …
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ターボ分子ポンプ
大阪真空機器製作所 TG1003VW／TC1003
排気速度：1000 L/s 到達圧力：1×10…
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ターボ分子ポンプ
ライボルト Leybold MAG2000／MAG.DRIVE 2000
排気速度：1550 L/s 到達圧力：7.5×…
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四重極質量分析計
Pfeiffer Vacuum（ファイファー） QME200
質量範囲：1-100 amu 残留ガス分析 …
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