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東京理化器械 Eyela LTI-1200E
型式：LTI-1001SD
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スパッタ電源
EN Technologies EnerStream20
型式：EnerStream20
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ターボ分子ポンプ
ファイファー Pfeiffer SplitFlow 290／TC110
排気速度：210 L/s 回転数：60000 1…
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エネルギー分散型X線分析装置
島津製作所 Shimadzu EDX-720
XRFシステム・元素分析装置・X線検…
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マイクロ波電源
IDX（現AD-TECH） IMG-2503S
高周波電源／プラズマ電源／マグネ…
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マイクロ波電源
AD-TECH（アドテック） ARP Series
高周波電源／RFプラズマ電源／マグ…
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レーザー測定器
キーエンス Keyence LT-9500/LT-9010M
型式：LT-9500/LT-9010M
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レーザー顕微鏡
キーエンス Keyence VK-9510
型式：VK-9510
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カーボンコーター
日本電子 Jeol JEC-530
型式：JEC-530
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オートファインコーター
日本電子 Jeol JFC-1300
型式：JFC-1300
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CNコーダー
ヤナコ機器開発研究所 MT-700
型式：MT-700
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イオンスパッタ装置
日本電子 Jeol JFC-1500
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X線回析装置
Bruker D2 PHASER
XRDシステム・X線発生装置・ゴニオ…
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UVオゾン洗浄装置
テクノビジョン UV-312
照射範囲：308mm x 308mm
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走査電子顕微鏡
日立 Hitachi Miniscope TM3000
倍率：×15～×30,000（デジタルズー…
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スピンコーター
エイブル ASS-303
半導体ウエハ、ガラス基板、各種平…
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恒温恒湿槽
ナガノサイエンス NST-S800
設定温湿度範囲：20～40℃ / 20～80…
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恒温恒湿槽
エスペック Espec PL-4KP
設定温湿度範囲：-40～100℃ / 20～9…
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FE-SEM
JEOL 日本電子 JSM-6700F
分解能：1.0nm（加速電圧15kV時）2.…
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ロータリポンプ
エドワーズ Edwards E2M40
排気速度：37/44(㎥/ｈ) 617/733(L/…
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スピンコーター
アクティブ ACT-220AⅡ
基板サイズ：Φ5～Φ100mm
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EPMA
島津製作所 Shimadzu EPMA-1610
測定可能元素：B（ホウ素）～U（ウ…
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恒温恒湿槽
エスペック Espec PL-1J
設定温湿度範囲：-40～100℃ / 20～9…
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恒温恒湿槽
エスペック Espec PR-3J
設定温湿度範囲：-20～100℃ / 20～9…
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