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レーザースキャンマイクロメーター
ミツトヨ Mitutoyo LSM-6200 / LSM-503S
測長範囲：0.3～30mm レーザー走査…
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超音波洗浄器
エスエヌディ / アズワン US2KS
型式：US2KS 容量：2.6L
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パーティクルカウンター
ベックマンコールター BeckmanCoulter HHPC 2+
Particle Size Analysis Range：0.5…
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電離真空計
アルバック Ulvac GI-TL3
測定圧力範囲：1.3×10-6～1.3×10-2P…
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超音波洗浄器
ヤマト科学 BRANSON 2510J-DTH BRANSONIC™
型式：2510J-DTH BRANSONIC™
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油回転式真空ポンプ
アルカテル Alcatel PASCAL-2015SD
排気速度：233L／min （50Hz）275L…
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ターボ分子ポンプ
島津製作所 Shimadzu TMP-550
排気速度：550 L/s
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垂直多関節産業用ロボットアーム
デンソーウェーブ VS050A3-AV6-NNN
未来産業技研では産業用ロボットの…
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アナライジング交流電源装置
高砂製作所 Takasago AA2000XG
任意波形発生機能／プログラム運転…
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ロータリーポンプ-油回転式真空ポンプ
バリアン Varian HS602
到達真空度：2×10-1Pa 排気速度：53…
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撹拌・脱泡機
キーエンス Keyence HM-500
自転公転大気圧タイプ 300ml樹脂容器
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RF電源
DAIHEN DRFS-5SA
出力電力500W 出力周波数13.56MHz
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RF電源
アルバック Ulvac RFS-005
出力電力500W 出力周波数13.56MHz
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冷却水循環装置
オリオン機械 Orion RKED2200A-VW
型式：RKED2200A-VW
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水晶振動子膜厚コントローラー
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3Ｄプリンター
Stratasys uPrint SE Plus
造形範囲：X203mm x Y203mm x Z152mm
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協調ロボットアーム
オムロン Omron TM5-900
可搬荷重：4kg リーチ長：900mm
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ダイアフラム式真空ポンプ
アルバック Ulvac DAU-100（高真空タイプ）
型式：DAU-100（高真空タイプ）
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圧縮空気温度調節装置
オリオン機械 Orion ACU600-MD
出口温度設定範囲：16℃～30℃
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電離真空計
アルバック Ulvac GI-TL3
型式：GI-TL3
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電離真空計
アネルバ ANELVA M-923HG
型式：M-923HG
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中真空用バキュームゲージ
岡野製作所 AVG134C11
型式：AVG134C11
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反射分光膜厚測定装置
大塚電子 FE-3000
型式：FE-3000
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ドラフトチャンバー
ヤマト科学 Yamato MS-70
排気風量：4.4/5.7m3/min
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