メカニカルブースターポンプ
アルバック Ulvac SF-JRF
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ロータリーポンプ
アルカテル Alcatel 2015 C1
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ロータリーポンプ
アルバック Ulvac GLD-136D
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DC電源
アメテック P31A-1507CB
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DC電源
ADVANCED ENERGY 0190-25698-001/2152412-402
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Oリング
Parker 2-386
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Oリング
Parker 2-309
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Oリング
Kalrez AS-568A
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RF電源/マッチングBOXセット
TOKYO HY-POWER RFMB-200-RGN
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SRDコントローラー
セミツール PSC-101S
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スタビルイオンゲージ、ケーブル(Cable for Stabil-Ion Gauge)
Granville-Phillips 352002-6
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エアオペレーションバルブ
Ckd AMD512-8BJ-CSC
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2方向エア式バルブ
サンゴバン JV2-71212NC-B (1107530)
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エアオペレーションバルブ
Ckd AMD512-8BJ-MSC
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エア式ダイヤフラムバルブB型
積水化学工業 B型15AType2030
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自動弁
旭有機材 ADAIGUEF1015
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薬液用バルブ
Ckd AMD452-20BUP-02EYXS
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エアシリンダ
SMC MDBG63-90-A53L
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オゾン発生器
エム・ケー・エス AX8407B
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カブバルクヘツドB
国際電気 D5SK08861-001
カテゴリー:電気部品
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クイックコネクター
サーパス工業 QCH-WA-6S-20AFL
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直流電源ケーブル
東京エレクトロン TEL 2986-400-621-13
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スペーサー
アプライド・マテリアルズ 0021-24181
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チャンバー用スペーサー
アプライド・マテリアルズ 0021-24182
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