真空コンポーネント1,101件
ゲートバルブ
VAT F14-58802-01(ICF114)
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アングルバルブ
VAT 26328-KA01(NW25)
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ゲートバルブ
HVA
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アングルバルブ
アルバック Ulvac VULH40(ICF40)
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高周波発振器
モリエンジニアリング SFA300EX
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真空ゲートバルブ
アルバック Ulvac VUGP-40
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ピラニー真空計
アルバック Ulvac IS02
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電離真空計
アルバック Ulvac GI-TL3
測定圧力範囲：1.3×10-6～1.3×10-2P…
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RF電源
ダイヘン DRFS-5SA
出力電力500W 出力周波数13.56MHz
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RF電源
アルバック Ulvac RFS-005
出力電力500W 出力周波数13.56MHz
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水晶振動子膜厚コントローラー
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電離真空計
アルバック Ulvac GI-TL3
型式：GI-TL3
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中真空用バキュームゲージ
岡野製作所 AVG134C11
型式：AVG134C11
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電離真空計
アネルバ ANELVA M-922HG
圧力レンジ：1×10-9 ～ 1×10-2 Pa
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セット品
大阪真空機器製作所 TH162
排気速度：160 L/s フランジ形状：I…
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マグネトロン真空ゲージ
エドワーズ Edwards AIM-XL-NW25
圧力測定範囲：1～10－7Pa
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スパッタ電源
EN Technologies EnerStream20
型式：EnerStream20
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マイクロ波電源
アドテック ADTEC IMG-2503S
高周波電源／プラズマ電源／マグネ…
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マイクロ波電源
アドテック ADTEC ARP Series
高周波電源／RFプラズマ電源／マグ…
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マイクロ波発振器／電源
アドテック ADTEC IMG-2502B
出力：1.5kW
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マッチングコントローラー
アステック ASTECH RC-11
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RF電源
アドバンスドエナジー AE RFX-600A
最大出力：600W 周波数：13.56MHz
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パルスユニット
アルバック Ulvac A2KH-25
発振周波数：1k～20kHz 逆パルス幅…
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バラトロン真空計
MKS 627D-28780
Range：13.332Pa
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