真空コンポーネント1,112件
電離真空計
アルバック Ulvac GI-TL3
測定圧力範囲：1.3×10-6～1.3×10-2P…
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RF電源
DAIHEN DRFS-5SA
出力電力500W 出力周波数13.56MHz
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RF電源
アルバック Ulvac RFS-005
出力電力500W 出力周波数13.56MHz
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水晶振動子膜厚コントローラー
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電離真空計
アルバック Ulvac GI-TL3
型式：GI-TL3
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電離真空計
アネルバ ANELVA M-923HG
型式：M-923HG
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中真空用バキュームゲージ
岡野製作所 AVG134C11
型式：AVG134C11
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電離真空計
アネルバ ANELVA M-922HG
圧力レンジ：1×10-9 ～ 1×10-2 Pa
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スパッタ電源
アルバック Ulvac DCR1502A
型式：DCR1502A
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セット品
大阪真空機器製作所 TH162
排気速度：160 L/s フランジ形状：I…
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マグネトロン真空ゲージ
エドワーズ Edwards AIM-XL-NW25
圧力測定範囲：1～10－7Pa
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スパッタ電源
EN Technologies EnerStream20
型式：EnerStream20
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マイクロ波電源
IDX（現AD-TECH） IMG-2503S
高周波電源／プラズマ電源／マグネ…
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マイクロ波電源
AD-TECH（アドテック） ARP Series
高周波電源／RFプラズマ電源／マグ…
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マイクロ波発振器／電源
IDX（旧アドテック） IMG-2502B
出力：1.5kW
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マッチングコントローラー
アステック ASTECH RC-11
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RF電源
アドバンスエナジー AE RFX-600A
最大出力：600W 周波数：13.56MHz
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パルスユニット
アルバック Ulvac A2KH-25
発振周波数：1k～20kHz 逆パルス幅…
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バラトロン真空計
MKS 627D-28780
Range：13.332Pa
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サーモカップル真空計
アネルバ ANELVA MTG-012
圧力測定範囲：200Pa～10-1Pa
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DC電源
アドバンスドエナジー AE Pinnacle
最大出力：10kW（銘板 M/N 3152436-…
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RF電源
RF POWER PRODUCTS RF20S
最大出力：2kW 周波数：13.56MHz
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RF電源
RF POWER PRODUCTS RF10S
最大出力：1kW 周波数：13.56MHz
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DC電源
アドバンスドエナジー AE Pinnacle
最大出力：12kW（銘板 M/N 3152415-…
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