真空コンポーネント1,063件
RF電源
アステック ASTECH ARF-1053
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マッチングボックス
日本電子 Jeol EH-MN01A
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電離真空計
アネルバ ANELVA M-822HG
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ゲートバルブ
VAT Φ235
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DC電源
菊水電子工業 Kikusui PAD70-15L
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アングルバルブ
VAT 26328-KA01（NW25）
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高周波発振器
モリエンジニアリング SFA300EX
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真空ゲートバルブ
アルバック Ulvac VUGP-40
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ピラニー真空計
アルバック Ulvac IS02
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水晶振動子膜厚コントローラー
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中真空用バキュームゲージ
岡野製作所 AVG134C11
型式：AVG134C11
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スパッタ電源
アルバック Ulvac DCR1502A
型式：DCR1502A
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セット品
大阪真空機器製作所 TH162
排気速度：160 L/s フランジ形状：I…
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マグネトロン真空ゲージ
エドワーズ Edwards AIM-XL-NW25
圧力測定範囲：1～10－7Pa
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RF
MKS ELITE-300
300W 13.56MHz
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マイクロ波電源
IDX（現AD-TECH） IMG-2503S
高周波電源／プラズマ電源／マグネ…
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マイクロ波発振器／電源
IDX（旧アドテック） IMG-2502B
出力：1.5kW
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マッチングコントローラー
アステック ASTECH RC-11
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パルスユニット
アルバック Ulvac A2KH-25
発振周波数：1k～20kHz 逆パルス幅…
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バラトロン真空計
MKS 627D-28780
Range：13.332Pa
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サーモカップル真空計
アネルバ ANELVA MTG-012
圧力測定範囲：200Pa～10-1Pa
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イオンゲージ
アネルバ ANELVA M-430HG
圧力レンジ：0.01×10-7 ～ 13.2×100…
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マイクロ波電源／発振器
IDX（現：アドテックプラズマ） IMG-2503
高周波電源／RFプラズマ電源／マグ…
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RF電源
日本電子 Jeol JRF-750
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