真空コンポーネント9件
直流電源ケーブル
東京エレクトロン TEL 2986-400-621-13
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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静電チャック下部電極
東京エレクトロン TEL 2L10-150079-13
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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石英 マニホールドカバー
東京エレクトロン TEL 2105-220791-51
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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石英製ガス注入ボックス
東京エレクトロン TEL 5805-200124-52
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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EPC７用 メインPCユニット
東京エレクトロン TEL 3R87-012696-11
カテゴリー:コンポーネント / 仕様…
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石英キャップ
東京エレクトロン TEL 1105-302481-51
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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石英ヒートシールドリング
東京エレクトロン TEL 3805-121229-B3
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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絶縁リング
東京エレクトロン TEL 2L05-350047-11
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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リフターアーム
東京エレクトロン TEL 3M10-308691-13
カテゴリー:真空機器・付属品（半導…
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