| 仕様 |
測定方法触針式プロファイル測定
測定能力2次元表面プロファイル測定
3次元測定
サンプル観察サイドビューカメラ:2.5mm x 4.25mm
トップダウンカメラ:11.5mm x 15.5mm
スタイラスセンサー
低慣性センサー(LIS3)+N-Lite 低触圧センサー
触圧0.03 15mg
スタイラスオプション
先端曲率の選択 (50nm ~ 25μm)
その他ご希望に応じて対応可能
サンプルX/Yステージ
高精度エンコーダ自動300mmX/Y
サンプルR-θステージ
自動、360°連続駆動 |