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ソーラー関係 (1)
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-980
ガスSiH2Sl2 流量200SCCM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-790
ガスSiH4 流量500SCCM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-781C
ガスN2 流量20SLM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-780C
ガスSF6 流量10SCCM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-780C
ガスCl2 流量200SCCM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-771AC
ガスH2 流量20SLM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-771AC
ガスH2 流量20SLM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-771A
ガスH2 流量20SLM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-770AC
使用ガスAr 流量300SCCM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-770AC
使用ガスN2 流量100SCCM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-770A
ガスN2流量1SLM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-260J
ガスN2 流量3SLM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FC-260J
ガスN2 流量5SLM
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera
O2 5000sccm
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera
N2 5000sccm
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FCP1980
SF6 50sccm
¥30,000
マスフローコントローラー（MFC）
Aera FCP1981
CF3 500sccm
¥30,000
MASK CHUCK
for 5inch
¥800,000
WAFER CHUCK（Black）
for 5inch
¥1,000,000
WAFER DISK
for 5inch
¥1,000,000
輪帯球面ミラー
Y60-4040-000
MPA600FAb用
¥300,000
第3コンデンサーレンズ
BN9-5205-000
MPA600FAb用
¥300,000
G2ミラー（MPA600SUPER）
BF6-0591-050
MPA600FAb用
¥160,000
G2ミラー
BN9-8079-000
MPA600FAb用
¥120,000
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