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マスフローコントローラー（MFC）
日立金属 型式 FCPI 980 管理番号 Z181219016
¥100,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | マスフローコントローラー（MFC） |
|---|---|
| ガス種 | C4F8 |
| ガス種 | SF6 |
| ガス種 | BCl3 |
| ガス種 | ClF3 |
| ガス種 | Cl2 |
| ガス種 | O2 |
| ガス種 | N2 |
| メーカー | 日立金属 |
| 型式 | FCPI 980 |
| 仕様 | マニホールド１式：C4F8＊50 SF6＊500 N2＊200 BCl3＊200 ClF3＊500 CL2＊200 O2＊5000 N2＊10 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z181219016 |
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