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ターボ分子ポンプセット
大阪真空機器製作所 型式 TG350FVAB 管理番号 SX-K045-0004
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仕様・詳細
| 機器名 | ターボ分子ポンプセット |
|---|---|
| メーカー | 大阪真空機器製作所 |
| 型式 | TG350FVAB |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ / 仕様（日本語）:新品（未使用品） 排気速度 350 L/s 最大圧縮比 N₂: 1×10⁸ / H₂: 2×10³ 到達圧力 < 1×10⁻⁶ Pa（< 7.5×10⁻⁹ Torr） 最大スループット 500 sccm（バックポンプ160 L/min時） 起動時間 約2–2.5分 停止時間 約5–6.5分 最大バック圧 260 Pa（2 Torr） 推奨バックポンプ（流量） ≥ 80 L/min 重量：６㎏ TMPコントローラー付き 型式：TC353 S/N：AK210716-005 入力電圧：100–110Vまたは200–230V（±10％） 周波数：50/60Hz 単相対応 消費電力：610 VA 出力周波数：750 Hz 質量：2.7 kg |
| 製造番号 | 4983 |
| 数量 | 1 |
| 管理番号 | SX-K045-0004 |
| 掲載日 | 2026-08-28 |
| 在庫情報の最終確認 | 2026-08-28 |
ご購入の流れ
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商品ID: 9777
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