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プラズマクリーナー
真空プラズマ洗浄装置 AP-1000
MARCH 管理番号 AX-000129
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仕様・詳細
| 機器名 | 真空プラズマ洗浄装置 |
|---|---|
| メーカー | MARCH |
| 型式 | AP-1000 |
| 仕様 | カテゴリー:半導体中古装置（前工程）, 洗浄装置 / 仕様（日本語）:RF電源なし |
| 年式 | 2004.8 |
| 製造番号 | P100181 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 洗浄、クリーニング |
| 管理番号 | AX-000129 |
| 掲載日 | 2026-08-28 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| チャンバー寸法(W×D×H) | 457×610×457mm(127L) |
|---|---|
| 棚段数 | 14 段 |
| 電極構成 | Direct / Downstream / HTP |
| 高周波電源 | 13.56MHz 600W(標準)、自動整合 |
| マスフローコントローラー | 最大4 |
| 標準真空ポンプ | 50CFM 油回転ポンプ(オイルミスト除去付) |
| 電源 | 三相220V 25A または 三相380V 25A、50/60Hz |
| 外形寸法(W×D×H) | 680×1127×1536(表示灯込み H1890) mm |
| 質量 | 485 kg |
出典: quasys.ch
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商品ID: 9750
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