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自動調芯機能付パルスステージコントローラ
福興システム 型式 AT-643 管理番号 SX-K004-0030
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仕様・詳細
| 機器名 | 自動調芯機能付パルスステージコントローラ |
|---|---|
| メーカー | 福興システム |
| 型式 | AT-643 |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー / 仕様（日本語）:"電源 AC 100V±10% 3A (50/60Hz) パルスモータ制御機能 適合モータ:5相ステッピングモータ 対応センサ:メカニカルまたは光電式 最高速度:100,000pulse/sec 最大制御軸数:3 最大記憶位置数:21 光出力検出機能 光出力検出レンジ:30mA / 3.0mA / 0.3mA ※PD 電流換算値 検出電流分解能:各レンジの 1/30000 最大バイアス電圧:10V ※極性指定可能 バイアス電圧設定分解能:0.1V" |
| 製造番号 | 0006 |
| 数量 | 1 |
| 管理番号 | SX-K004-0030 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 在庫情報の最終確認 | 2026-08-28 |
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商品ID: 9701
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