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ターボ分子ポンプ（TMP）
ターボ分子ポンプ TS440VW
大阪真空機器製作所 管理番号 AX-001411
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仕様・詳細
| 機器名 | ターボ分子ポンプ |
|---|---|
| メーカー | 大阪真空機器製作所 |
| 型式 | TS440VW |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ / 仕様（日本語）:吸気口フランジ:VG150 CF160 ISO-B160 排気速度： N₂ (L/s)440 N₂ (保護金網付) (L/s)410 H₂ (L/s)320 最大圧縮比：N₂ 2×10⁶ H₂ １×10³ 最大ガス流量 N2 10860sccm 起動時間 10～14min 停止時間 23～28min 到達圧力 < 1×10-5Pa < 7.5×10-8Torr 許容補助圧力 (Pa) 2000 (Torr） 15 質量 60KG |
| 年式 | 2006 |
| 製造番号 | 1719 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空ポンプ |
| 管理番号 | AX-001411 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
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