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メカニカルブースターポンプ PRC-003A
アルバック Ulvac 管理番号 AX-001319
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仕様・詳細
| 機器名 | メカニカルブースターポンプ |
|---|---|
| メーカー | アルバック Ulvac |
| 型式 | PRC-003A |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, メカニカルブースターポンプ / 仕様（日本語）:最大排気速度 50Hz 280 m3/h（4670 L/min） 60Hz 330 m3/h（5500 L/min） 最大吸入圧力 50Hz 1.2 x 103 Pa 60Hz 9.3 x 102 Pa 最大許容圧力差 50Hz 4.0 x 103 Pa 60Hz 3.3 x 103 Pa 到達圧力 4.0 x 10-1 Pa 駆動可能圧力 ～1.0 x 105 Pa（大気圧駆動型） 出力 0.75 kW（2極数） 電圧 (200V級モータ) 50Hz 200 V 60Hz 200/220 V 所要油量 0.7 L 冷却方式 水冷 冷却水 一次側圧力 0.3 Mpa 出入口差圧 0.01 Mpa以上 冷却水量 2 L/min 冷却水温度 5 ～ 30 ℃ 外形寸法 W×D×H *6 296×575×260 mm 質量 51 kg |
| 製造番号 | A67A-00528 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空ポンプ |
| 管理番号 | AX-001319 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 排気速度 | 280/330 m³/h |
|---|---|
| 最大吸入圧 | 1.2×10³(50Hz)/ 9.3×10²(60Hz) Pa |
| 最大許容圧力差 | 4.0×10³(50Hz)/ 3.3×10³(60Hz) Pa |
| 到達圧力 | 4.0×10⁻¹(ピラニ真空計、標準補助ポンプ使用) Pa |
| 駆動可能圧力 | 〜1.0×10⁵Pa(大気圧駆動型) |
| 吸気口フランジ | VG80 |
| 排気口 | VF80 相当 |
| 使用油 | ULVOIL R-4 |
| 標準補助ポンプ | VD601 |
| 電源 | 三相AC200V 50/60Hz |
| 外形寸法(W×D×H) | 296×565×260 mm |
| 質量 | 51(54) kg |
出典: メーカー資料
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商品ID: 9587
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