ターボ分子ポンプ(TMP)
ターボ分子ポンプセット FT800W-A1N1
三菱重工業 管理番号 AX-001257
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仕様・詳細
| 機器名 | ターボ分子ポンプセット |
|---|---|
| メーカー | 三菱重工業 |
| 型式 | FT800W-A1N1 |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ / 仕様(日本語):ターボポンプ 型式:FT800W-A1N1 電源 型式:FTI-800W-D3 |
| 年式 | 2007 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空ポンプ |
| 管理番号 | AX-001257 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様(型式一般)
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 排気速度 | 810(VG150)/ 1,000(VG200)(N2) L/s |
|---|---|
| 排気速度(水素) | 530(VG150)/ 570(VG200) L/s |
| 吸気口フランジ | VG150 または VG200 |
| 排気口 | NW40 |
| 最大圧縮比 | N2 >10⁸ / H2 4×10³ |
| 到達圧力 | 10⁻⁷ Pa |
| 回転数 | 36,000 rpm |
| 起動/停止時間 | 約6 / 10 min |
| 軸受方式 | 5軸制御磁気軸受 |
| 標準補助ポンプ | 800 L/min |
| 本体質量 | 約28 kg |
| パワーサプライ | 単相AC200〜240V 50/60Hz、1.2kVA、約10kg |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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