オリフィスコントローラー
フローコントローラー CMS-201
アネルバ ANELVA 管理番号 G102603
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | フローコントローラー |
|---|---|
| メーカー | アネルバ ANELVA |
| 型式 | CMS-201 |
| 備考 | 部品取り品 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | G102603 |
| 商品NO | 5704(旧サイトの番号) |
| 掲載日 | 2016-10-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様(型式一般)
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 出力電圧 | ±15VDC 350mA、+7.5VDC 500mA |
|---|---|
| 流量設定出力 | 0〜+5VDC フルスケール |
| 流量入力電圧 | 0〜+5VDC フルスケール |
| 流量表示 | 3½桁デジタルパネルメータ 最大1000(小数点位置は任意選択、フルスケール100〜1000で任意校正可) |
| 流量・レシオ設定 | 10回転ポテンショメータ(FLOW/RATIO をスイッチ切替) |
| 制御モード | SET(ポテンショメータで流量制御)/CLOSE(流量ゼロ)/EXT SET(外部設定信号)/EXT CONT(CMS-101プレッシャーコントローラによる制御) |
| 外部出力 | 流量モニター出力 0〜+10VDCフルスケール 10mA、流量設定モニター出力 0〜+10VDCフルスケール 10mA |
| 外部入力 | EXT SET 入力 0〜+10VDCフルスケール 10mA、EXT CONT 入力(CMS-101と接続) |
| 組み合わせる機器 | CMS-221 マスフローメータ、CMS-101 プレッシャーコントローラ |
出典: メーカー資料
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