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クライオポンプ CRYO-U8H
アルバック Ulvac 管理番号 AX-001247
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仕様・詳細
| 機器名 | クライオポンプ |
|---|---|
| メーカー | アルバック Ulvac |
| 型式 | CRYO-U8H |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, クライオポンプ / 仕様（日本語）:排気速度(20℃) 窒素：1,700L/s 水素:2,700L/s アルゴン：1,400L/s 水:4,000L/s 到達圧力 10-7(10-9) Pa(Torr) 最大流量 アルゴン 1.2×103(8.9) Pa・L/s(Torr・L/s) 排気容量 アルゴン 1.0×108(7.6×105)Pa・L(Torr・L) 水素 1.0×106(7.6×103) 冷却降下時間 (電力サイクル) 100/90(50/60)min(Hz) 吸気口フランジ UVG-200,6BANSI,UFC-253 コンプレッサユニット C10, C10AT, C10ES 質量 25Kg |
| 製造番号 | 1802888J |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空ポンプ |
| 管理番号 | AX-001247 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 排気速度 | 1,700 L/s |
|---|---|
| 排気速度(水素) | 2,700 L/s |
| 排気速度(アルゴン) | 1,400 L/s |
| 排気速度(水蒸気) | 4,000 L/s |
| 到達圧力 | 10⁻⁷ Pa |
| 最大流量 | アルゴン1.2×10³、水素2.4×10² Pa·L/s |
| 排気容量 | アルゴン1.0×10⁸、水素1.0×10⁶ Pa·L |
| 冷却降下時間 | 100/90 分(50/60Hz) |
| 吸気口フランジ | UVG-200 |
| 質量 | 20.8 kg |
| 組み合わせる圧縮機 | C10、C10E、C10ES、SC、C2W-U(シングル運転)/C30MV(マルチ運転、3台まで) |
| 方式 | ヘリウム冷凍機式クライオポンプ(GMサイクル) |
| 冷凍機ユニット | R10 |
| 外形寸法 | 全高523.8、吸気フランジ外径300(UVG-200時) mm |
| メンテナンスインターバル | 16,000 時間 |
出典: メーカー資料、ulvac-cryo.com
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商品ID: 9495
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