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クライオポンプ
アルバック Ulvac 型式 CRYO-U8H 管理番号 SX-K051-0003
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仕様・詳細
| 機器名 | クライオポンプ |
|---|---|
| メーカー | アルバック Ulvac |
| 型式 | CRYO-U8H |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, クライオポンプ / 仕様（日本語）:排気速度(20℃) 窒素：1,700L/s 水素:2,700L/s アルゴン：1,400L/s 水:4,000L/s 到達圧力 10-7(10-9) Pa(Torr) 最大流量 アルゴン 1.2×103(8.9) Pa・L/s(Torr・L/s) 排気容量 アルゴン 1.0×108(7.6×105)Pa・L(Torr・L) 水素 1.0×106(7.6×103) 冷却降下時間 (電力サイクル) 100/90(50/60)min(Hz) 吸気口フランジ UVG-200,6BANSI,UFC-253 コンプレッサユニット C10, C10AT, C10ES 質量 25Kg |
| 製造番号 | 1802888J |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空ポンプ |
| 管理番号 | SX-K051-0003 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 在庫情報の最終確認 | 2026-08-28 |
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