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ドライポンプ ESR200WN
荏原製作所 Ebara 管理番号 AX-001234
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仕様・詳細
| 機器名 | ドライポンプ |
|---|---|
| メーカー | 荏原製作所 Ebara |
| 型式 | ESR200WN |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ / 仕様（日本語）:電源：3相200～220V 排気速度：20000L/min 到達圧力：0.13Pa 質量：250kg |
| 製造番号 | DH02088 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空ポンプ |
| 管理番号 | AX-001234 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 排気速度 | 10,000〜20,000(回転速度制御で可変) L/min |
|---|---|
| 到達圧力 | 0.13 Pa |
| 吸気口フランジ | NW100 |
| 到達圧力時電力(最大電力) | 1.1(5.0) kW |
| 冷却水流量 | 2〜8 L/min |
| N2パージ流量(標準) | 19〜22 Pa·m³/s |
| 電源容量 | 8.0 kVA |
| 電源 | 三相200〜220V / 380〜440V 50/60Hz |
| 質量(概略) | 250 kg |
出典: メーカー資料
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商品ID: 9476
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