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クライオチラー
Brooks 型式 MaxCool 4000H 管理番号 SX-K005-0001-1
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仕様・詳細
| 機器名 | クライオチラー |
|---|---|
| メーカー | Brooks |
| 型式 | MaxCool 4000H |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, チラー, 水冷式チラー / 仕様（日本語）:最大冷却能力:4,000 W 最大冷却能力時の温度:-98℃ 最低温度:-133℃ 到達運転圧力（最大排気速度の25％）:5E-8 Torr 標準的なコールドトラップ領域:2.2 m2 標準的なコールドトラップ領域からの最大水蒸気排気速度:327,800 l/s 保存的最大コールドトラップ領域:2.8 m2 消費電力（スタンバイモード）:12.0 kW 消費電力（冷却モード、標準負荷）:12.4 kW 電力消費（冷却モード、最大負荷）:19.2 kW 冷却水フロー（13℃）:15.1 l/分 冷却水フロー（18℃）:18.2 l/分 冷却水フロー（24℃）:27.3 l/分 冷却水フロー（29℃）:54.1 l/分 |
| 製造番号 | E15100981F |
| 数量 | 1 |
| 管理番号 | SX-K005-0001-1 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 在庫情報の最終確認 | 2026-08-28 |
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商品ID: 9473
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