真空計
熱電対式真空圧力計 TG‑550B
アネルバ ANELVA 管理番号 AX-001095
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仕様・詳細
| 機器名 | 熱電対式真空圧力計 |
|---|---|
| メーカー | アネルバ ANELVA |
| 型式 | TG‑550B |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空計 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | AX-001095 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様(型式一般)
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 測定方式 | 熱電対式(サーモカップル)熱伝導真空計 |
|---|---|
| 圧力範囲(測定球単体) | 0.1〜200 Pa |
| 測定範囲(MTG-015組合せ時) | 1〜100 Pa |
| 応答速度 | 3 秒 |
| ヒーター電流 | 230(熱電対出力10mVに対して) mA |
| 出力電圧 | 0〜10 mV |
| ヒーター抵抗 | 約1.4 Ω |
| 容積 | 14 cc |
| 質量 | 約80 g |
| 接続 | Oリングシール(又は溶接、ネジ込み)、管外径φ15 |
| 外形寸法 | 頭部φ32、全長81.2 mm |
| 対応制御電源 | アネルバ MTG-012、MTG-015 ほか |
出典: メーカー資料
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