ピラニ真空計

Name: ピラニ真空計 M‑311HG‑SP/C70
Brand: キヤノンアネルバテクニクス
SKU: SX-K045-0002-30
Availability: InStock

キヤノンアネルバテクニクス型式 M‑311HG‑SP/C70 管理番号 SX-K045-0002-30

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仕様・詳細

機器名	ピラニ真空計
メーカー	キヤノンアネルバテクニクス
型式	M‑311HG‑SP/C70
仕様	カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空計, ピラニ真空計 / 仕様（日本語）:測定方式熱陰極型イオンゲージ（ベーキング可能）圧力測定範囲 1×10⁻⁷ Pa ～ 10 Pa 測定再現性 ±10％（1×10⁻⁶ ～ 1×10⁻¹ Pa）アナログ出力 0〜10 V（対数リニア、1 V/デケード）出力精度 ±0.2 V以内（1×10⁻⁶ ～ 1×10⁻¹ Pa）応答速度 100 ms以内セットポイント 2点、リレー出力（30 V DC / 1 A max）エミッション電流 4段階切替式（20 µA, 66 µA, 200 µA, 660 µA）入力電圧 DC +20 V ～ +28 V 消費電力約12 W（max）最大ケーブル長 200 m（線径1 mm²使用時）出力コネクタ D-sub 9ピンオス使用温度範囲 5 ～ 50 ℃ 保存温度範囲 -20 ～ 70 ℃ ベーキング温度～300 ℃（センサー部のみ）耐放射線性高耐性（ただし明示値は記載なし）フランジ形状 φ70 ICF（C70モデルの特徴）サイズ（本体）約110 × 70 × 50 mm（突起部除く）質量約600 g（センサー含む）規格対応 CEマーキング、RoHS指令準拠、IP40
製造番号	TX1532047G
数量	1
カテゴリー	真空コンポーネント
管理番号	SX-K045-0002-30
掲載日	2026-08-27
在庫情報の最終確認	2026-08-28

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