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クライオポンプ
アルバック Ulvac 型式 CRYO-U16P 管理番号 SX-K021-0002-4
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仕様・詳細
| 機器名 | クライオポンプ |
|---|---|
| メーカー | アルバック Ulvac |
| 型式 | CRYO-U16P |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, クライオポンプ / 仕様（日本語）:排気速度L/s：窒素5,000/水素10,000/アルゴン4,200/水16,000 到達圧力Pa：10⁻⁷ 冷却降下時間min(Hz)：120/110(50/60) 吸気口フランジ：UVG-400 質量：６１ｋｇ ホース付き |
| 製造番号 | 1506288 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空ポンプ |
| 管理番号 | SX-K021-0002-4 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 在庫情報の最終確認 | 2026-08-28 |
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