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ウェット洗浄装置
バッチスプレー式洗浄装置 CINTILLIO SAT662
OEM Group 管理番号 AX-000310
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仕様・詳細
| 機器名 | バッチスプレー式洗浄装置 |
|---|---|
| メーカー | OEM Group |
| 型式 | CINTILLIO SAT662 |
| 仕様 | カテゴリー:半導体中古装置（前工程）, 洗浄装置 / 仕様（日本語）:https://www.oemgroupinc.com/assets/public/doc/Cintillio%20SAT%20Brochure.pdfご参考ください。 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 洗浄、クリーニング |
| 管理番号 | AX-000310 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 処理方式 | 25/50枚バッチ スプレー式 |
|---|---|
| 対応ウェーハ | 50 / 100 / 150 / 200mm |
| スループット | 最大136枚/時(200mm) |
| 薬液タンク | 最大4 |
| ユーティリティ | DIW・N2・O2 |
| 電源 | 三相208V または 380V、60A、50/60Hz |
| 外形寸法(W×D×H) | 1000×1800×2300 mm |
出典: oemgroupinc.com
ご購入の流れ
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