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リンサードライヤー

スピンリンサードライヤー SPD180-RN

コクサン Kokusan 管理番号 AX-000300
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仕様・詳細

機器名スピンリンサードライヤー
メーカーコクサン Kokusan
型式SPD180-RN
仕様カテゴリー:半導体中古装置(前工程), 洗浄装置, スピンドライヤー / 仕様(日本語):https://kokusan.co.jp/products/spd-180ご参照ください 未使用品
年式2020.12
製造番号2012259
数量1
カテゴリー洗浄、クリーニング
管理番号AX-000300
掲載日2026-08-27
最終取得日2026-10-06

参考仕様(型式一般)

メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。

最大処理量8インチ×25枚キャリア 1キャリア
回転数3,500rpm(5インチまで)/ 3,000rpm(6インチ以上)
モータインバータモータ
制御・操作PLC・インバータ / タッチパネル、レシピ5種類
ULPA フィルタ・イオナイザ有
電源三相AC200V 50/60Hz 8A
駆動エアー0.3 MPa
外形寸法(W×D×H)652×1135×1080(蓋開時 H1352) mm
質量110 kg

出典: kokusan.co.jp

ご購入の流れ

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  3. ご注文条件にご納得いただけたら掲載会社へご注文。取り置きのご相談も可能です
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商品ID: 8521

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