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フローメータ
フローメーターコントローラー PE-D20
堀場エステック Stec 管理番号 AX-000211
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仕様・詳細
| 機器名 | フローメーターコントローラー |
|---|---|
| メーカー | 堀場エステック Stec |
| 型式 | PE-D20 |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| 年式 | 2017.10 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 電気計測器 |
| 管理番号 | AX-000211 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 制御チャンネル数 | 1 ch |
|---|---|
| 流量設定信号 | DC0〜5 V |
| 表示 | 赤LED 4 1/2桁(流量出力)/緑LED 5桁(設定) |
| 表示精度 | F.S.±0.1%±1digit |
| MFC用電源出力 | +15V 200mA / -15V 300mA / +5V 500mA |
| バルブ設定信号 | OPEN +15V / CLOSE -15V |
| アラーム出力 | 上限・下限 オープンコレクタ DC30V 50mA |
| 電源入力 | AC100〜240V 50/60Hz |
| 消費電力 | 30 VA |
| 動作保証周囲温度 | 5〜45 ℃ |
| 外形寸法(W×D×H) | 48×170×96 mm |
| 質量 | 約800 g |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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商品ID: 8421
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