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スクロールポンプ
スクロール型ドライ真空ポンプ DIS-500
アルバック Ulvac 管理番号 AX-000148
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仕様・詳細
| 機器名 | スクロール型ドライ真空ポンプ |
|---|---|
| メーカー | アルバック Ulvac |
| 型式 | DIS-500 |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ / 仕様（日本語）:使用時間：26867.1 排気速度 約 500 L/minクラス 到達圧力 約 1 Pa 電動機 約600W 電源：単相 100~230V 本体重量：44kg 取説書有り |
| 年式 | 2006 |
| 製造番号 | FL405 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空ポンプ |
| 管理番号 | AX-000148 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 排気速度 | 500/600 L/min |
|---|---|
| 到達圧力 | ≦1 Pa |
| リーク量 | ≦1.0×10⁻⁵ Pa·m³/s |
| 吸気口フランジ | NW40 |
| 排気口 | NW25 |
| 電動機出力 | 0.6 kW |
| 使用周囲温度 | 5〜40 ℃ |
| 冷却方式 | 空冷 |
| 質量 | 44(単相)/ 38(三相) kg |
| 外形寸法(L×W×H) | 443×328×372(単相)/ 372×328×372(三相) mm |
出典: メーカー資料
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