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スピンコーター 1H-DXⅡ
ミカサ 管理番号 AX-000147
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仕様・詳細
| 機器名 | スピンコーター |
|---|---|
| メーカー | ミカサ |
| 型式 | 1H-DXⅡ |
| 仕様 | カテゴリー:半導体中古装置（前工程）, 塗布現像装置, コーター / 仕様（日本語）:形式 ：回転塗布式 １ヘッド 試 料 台 ： 準備試料台 試料サイズ ： 最大154㎜φ １㎜ｔ 試料固定方式 ： 真空吸着固定式 回 転 数 ： 300－7000 r.p.m 回 転 時 間 ： 最大999.9秒（合計） 回 転 制 御 ： プログラム方式・最大100段入力可 回転立上がり時間 ：0.3 秒（無負荷）・スロープ設定可 回 転 精 度 ： ±１ r.p.m（無負荷） スピン室内径 ： 290㎜φ 使用真空源 ： -0.08～-0.1Mpa（真空ポンプはオプションとなります。） 使 用 電 源 ： ＡＣ 100Ｖ 50/60Hz ５Ａ 外 径 寸 法： 約Ｗ362×Ｈ275×Ｄ525（㎜） 重量 ：本体約27㎏ |
| 製造番号 | 2268AA403 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 半導体関連 |
| 管理番号 | AX-000147 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 形式 | 回転塗布式 1ヘッド |
|---|---|
| 試料サイズ | 最大φ154mm、1mm厚 |
| 試料固定方式 | 真空吸着 |
| 回転数 | 300〜7,000 rpm |
| 回転時間 | 最大999.9秒(合計) |
| 回転制御 | プログラム方式・最大100段 |
| 回転立上がり時間 | 0.3秒(無負荷)、スロープ設定可 |
| 回転精度 | ±1rpm(無負荷) |
| スピン室内径 | φ290 mm |
| 使用真空源 | -0.08〜-0.1MPa(真空ポンプはオプション) |
| 電源 | AC100V 50/60Hz 5A |
| 外形寸法(W×H×D) | 約362×275×525 mm |
| 質量 | 約27 kg |
出典: メーカー資料
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商品ID: 8355
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