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酸アルカリ洗浄装置
カナメックス 型式 WSC-A100TCBT 管理番号 SX-M001-0007
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仕様・詳細
| 機器名 | 酸アルカリ洗浄装置 |
|---|---|
| メーカー | カナメックス |
| 型式 | WSC-A100TCBT |
| 仕様 | カテゴリー:半導体中古装置（前工程）, 洗浄装置 / 仕様（日本語）:ウェハー材料：シリコン及びSic ウエハー寸法：φ6インチ×300μm~800μm カセット寸法：φ6 157×142×165mm KM-60PN ピッチ材質：PFA又はPP 収納枚数：23枚 御支給：各2ケ チャンバーABC：φ350 材質PTFE 排気ドレン：φ25×4ケ 対象液体：NH4OH、HCL、H2SO4、HF、H2O2 （建屋からの自動供給） スピン乾燥 N2ガス 電源：AC200V 3相 60Ｈz 125A 本体寸法：1700×2580×2235mm 本体重量：1500㎏ 仕様書、取説書有り |
| 数量 | 1 |
| 管理番号 | SX-M001-0007 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 在庫情報の最終確認 | 2026-08-28 |
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商品ID: 8313
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