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ゲージコントローラー
イオン化真空計コントローラー GI-TL3RY
アルバック Ulvac 管理番号 AX-000100
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仕様・詳細
| 機器名 | イオン化真空計コントローラー |
|---|---|
| メーカー | アルバック Ulvac |
| 型式 | GI-TL3RY |
| 仕様 | カテゴリー:真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コントローラー |
| 製造番号 | 5017 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | AX-000100 |
| 掲載日 | 2026-08-27 |
| 最終取得日 | 2026-10-06 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 測定圧力範囲(三極管型測定子) | 1.3×10⁻⁵〜6.7×10⁻¹ Pa |
|---|---|
| 測定圧力範囲(B-A型測定子) | 1.3×10⁻⁶〜1.3×10⁻² Pa |
| 測定レンジ(直線目盛) | 10⁻⁶〜10⁻¹ Pa |
| 測定レンジ(対数目盛) | 1×10⁻⁵〜1 Pa |
| 測定精度(直線目盛) | ±15 % |
| 測定精度(対数目盛) | ±50 % |
| 圧力表示 | アナログ表示 |
| 脱ガス方式 | グリッド直接通電加熱 |
| セットポイント | 2 点 |
| セットポイント接点容量 | AC100V/0.5A |
| レコーダ出力 | DC0〜10 V |
| 使用温度範囲 | 10〜40 ℃ |
| 消費電力 | 72 VA |
| 質量 | 5.6 kg |
| 外形寸法(W×D×H) | 240×303×99 mm |
出典: メーカー資料
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商品ID: 8307
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