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気化器コントローラー SOURCE VJ
Aera 管理番号 Z230331097
¥30,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | 気化器コントローラー |
|---|---|
| ガス種 | N2 |
| メーカー | Aera |
| 型式 | SOURCE VJ |
| 仕様 | ガス:N2 キャリアガス流量(設定):150SCCM |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z230331097 |
| 掲載日 | 2026-08-19 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 機器の種類(銘板表記) | VAPORIZER CONTROLLER(気化器コントローラー) |
|---|---|
| キャリアガス | N2 |
| キャリアガス流量(現品ラベル) | 150 sccm |
| ソース(液体原料) | BBr3(三臭化ホウ素) |
| ソース供給量(現品ラベル) | 100 mg/min |
| 混合比(RATIO、現品ラベル) | 10 % |
| 温度条件(TEMP、現品ラベル) | 室温(room) |
| 電源 | 100 V(AC) |
| 制御入力(CONTROL) | 0.5〜5 VDC |
| 出力信号(RATIO・CARRIER・SOURCE) | 0〜5 VDC |
| 基準電圧出力(REF.) | +5.00 VDC |
| 接続口 | CARRIER IN・CARRIER OUT・MIX(2か所) |
| その他の端子 | CASE GND・COMMON・VALVE TEST PT. |
出典: ircforall.net
ご購入の流れ
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商品ID: 7884
¥30,000
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