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DC電源
DC電源（MDX-10K） 3152012-041AB
アドバンスドエナジー AE 管理番号 Z190630066
¥300,000 (税別・送料別)
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仕様・詳細
| 機器名 | DC電源（MDX-10K） |
|---|---|
| メーカー | アドバンスドエナジー AE |
| 型式 | 3152012-041AB |
| 仕様 | AMAT/ENDURA用 |
| 数量 | 1 |
| カテゴリー | 真空コンポーネント |
| 管理番号 | Z190630066 |
| 商品NO | 11037（旧サイトの番号） |
| 掲載日 | 2019-12-26 |
| 最終取得日 | 2026-10-10 |
参考仕様（型式一般）
メーカーの公開資料などをもとにAIが調べた、この型式の一般的な仕様です。現品の状態・付属品・改造の有無は上の仕様欄と写真でご確認ください。誤りにお気づきの際はお問い合わせよりお知らせください。
| 種別 | DCマグネトロンスパッタ用電源(MDXシリーズ) |
|---|---|
| 出力電力 | 10 kW |
| 出力電圧 | 0〜1000 V |
| 出力電流 | 0〜20 A |
| 出力電圧・電流(STD-Zタイプ、タップ切替) | TAP#1 0〜600V/0〜20A、#2 0〜800V/0〜16A、#3 0〜1000V/0〜12.5A |
| 入力電源 | 三相208VAC±10% 50/60Hz(40A)+単相115VAC±10% |
| 出力リップル | 2% RMS(リップル周波数100kHz) |
| 制御 | フロントパネル、ユーザーコネクタ(アナログ)、ホストRS-232C |
| タイマー | ランタイマー0.01〜99.00分、シャットダウンセットポイントタイマー |
出典: メーカー資料
ご購入の流れ
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